近年来高功率高光束质量的激光器在各行材料加工行业的应用得到迅猛发展，激光器种类繁多：不同结构分为气体激光、固体激光、光纤激光、半导体激光成为支撑材料加工行业的主流；其波长范围从远红外到深紫外均能覆盖到（200nm~20um），不同的行业亦会使用到不同的功率范围，不同的光束质量，不同的激光输出方式等等。在加工薄膜非金属材料，半导体晶圆切割，有机玻璃切割、钻孔、打标等领域为了减少热效应影响，希望小孔径光斑作用及高峰值功率，紫外激光的作用和地位就是那么的出色和不可替代。 对于金属加工的波长多为红外波段，以期望高功率高热量来作用加工金属，但其红外或可见光通常靠产生高亮度的局部加热使材料气化、熔化的方式来进行加工。但这种热量会导致激光作用区域的周边材料受到影响甚至被破坏，因而限制了加工边缘质量和工业应用范围。而紫外激光是短波长高能量光子激光，其作用到物质上是直接破坏材料原子组分的化学键，而不产生热量，所以一般都把紫外激光加工称作“冷”加工。 紫外激光在市场上主要有两种：气体紫外激光器、固体紫外激光器。固体紫外激光器由于其效率高及体积小等优点在市场上占有较大份额。固体紫外激光器还有着半导体泵浦