型号：ESCALAB 250Xi XPS
详细描述
ESCALAB250Xi 配备了微聚焦X射线单色器，提供优化的XPS性能。其市场**的灵敏度确保了**样本量。XPS并行成像是选择**横向分辨率的方法，ESCALAB250Xi提供的成像空间分辨率优于<3μm。**开发的成像检测器提供了“免签名“的定量数据。多技术能力和系列预备室及各种设备的可用性，确保该仪器将提供任何表面分析问题的解决方案。
主要特点
• 高灵敏度能量分析器
• 标配X射线单色器
• 小面积XPS
• 成像空间分辨率<3μm
• 定量成像
• 深度剖析性能
• 角分辨 XPS
• 微聚焦单色器
• 标准配置包含离子散射能谱（ISS）
• 标准配置包含反射电子能量损失谱（REELS）
• 标准配置包含预备室
• 多技术分析功能
• 多种样品制备选项
• 全自动无人值守式分析
• 多样品分析
• 基于Windows 的Avantage数据系统
X射线单色器
• 双晶体微聚焦单色器拥有500 mm直径罗兰圆，使用铝阳极
• 用户可选择200微米至900微米任何大小X射线光斑照射样品
透镜/分析器/检测器
• 透镜/分析器/检测器一体化使ESCALAB 250Xi具备同时拥有成像和小面积XPS测试能力的独特性
• 两种类型的检测器可以确保分析者为每种分析选用**的分析器——二维检测器用于成像，当检测到高计数率时能谱分析使用基于通道电子倍增器的检测器
• 配备两组电脑控制虹膜机制透镜——一组用于用户控制分析区域，小面积测试模式下可下降到小于20微米，另一组透镜用于控制接收角，对于高质量角分辨XPS至关重要
• 180°半球能量分析器
深度剖析
• 数字化控制的EX06离子枪可用于提供优异的深度剖析测试
• 即便使用低能离子，EX06离子枪同样是一款高性能的离子源
• 可用于深度剖析中样品原点多方位旋转刻蚀
• 多技术能力
• 设计用于其它分析技术，不局限于XPS测试
• 透镜组和能量分析器供电是可逆的——使用EX06离子枪，ISS（离子散射能谱）始终可用
• 电子枪加压可升至1000V，为REELS提供优异的离子源
技术选项
• 带非单色化X射线光源XPS
• AES（俄歇电子能谱）
• UPS（紫外电子能谱）
真空系统
• 分析室使用5毫米厚钼合金材料制造，**限度地提高磁屏蔽效率
• 与使用内部或外部屏蔽的屏蔽法相比，提供的屏蔽效能更佳
样品制备
• 系统基本配置包含一体化的进样室和进样门锁机构
• 额外的制备室可做为选配件
Avantage数据系统
• 赛默飞世尔科技的表面分析仪器和部件由Avantage数据系统控制
• 这个业界**的软件集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成
• Avantage是基于Windows的软件包，可以通过网络远程控制，轻易实现与第三方软件如微软Word软件兼容
• Avantage负责从样品分析到报告生成整个测试分析过程