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A、 抽空真空舱内的空气 a、放置样本入舱内； b、关闭三通阀（箭头朝下）； c、握住清洗机门靠近真空舱； d、 开启真空泵上的电源开关，等几分钟待抽空舱内空气，清洗机门合上。 B、 抽气 a、打开三通阀与室内空气相通，（lever指向针形阀needle valve）； b、轻轻打开针型阀，让空气进入清洗机舱内。(needle valve要先关闭)。 C、 形成等离子
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